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硅单晶抛光片的加工技术

￥29~33 元

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本书在内容上采取由浅入深的方式，在介绍半导体硅及集成电路有关知识的同时，简单介绍半导体工业及国内、国外半导体材料硅单晶、抛光片技术的发展和动态，重点阐述了硅单晶抛光片的加工制备技术，大直径硅片的运、载，硅单晶、抛光片的测试，洁净室技术及三废处理等内容。并且，书中附有大量的图、表等资料以供读者参考。本... >>详细

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上市时间
ISBN	ISBN 7-5025-7224-4
版本
版次
出版社
出版时间	2005-8-1
丛书名
开本
目录
页数
译者
用纸
原出版社
主题2
装帧	精装32开,304页
作者